Омские научные чтения - Физика

Сверхзвуковое истечение плазмы в процессе осаждения тонких пленок аморфного кремния

Худайбергенов Г. Ж., Баранова Л. В., Струнин В. И.

Аннотация

В результате проведенного численного моделирования газодинамических функций сопла Лаваля, получены его параметры, при которых формируется сверхзвуковое истечение плазменной струи в процессе осаждения тонких пленок аморфного кремния. На основе расчетных параметров сопла, получены тонкие пленки аморфного кремния, исследована равномерность толщины синтезированных покрытий. Показано, что за счет низкого значения поступательной температуры на выходе из сопел, значительно уменьшаются релаксационные потери – «замораживаются» колебательные степени свободы, степени свободы поперечного движения частиц, следовательно, увеличивается энергетическая эффективность процесса формирования пленок. Это обусловлено тем, что на поверхности растущей пленки вступают в реакцию только продукты первичного взаимодействия электронов с молекулами кремнийсодержащего газа в плазмотроне.

Комментарии

Комментарии отсутствуют

Вопросы по докладу

Вопросы отсутствуют