Омские научные чтения - Физика

Масс-спектрометрическое исследование атмосферы остаточных газов подкорпусного пространства КРТ.

Худайбергенов Г. Ж.

Аннотация

Разработан измерительный стенд с вакуумом 10^-8¸10^-7 Торр для определения остаточных газов на корпусе и внутри корпусов изделий. Получены спектры остаточных газов до и после разгерметизации кварцевых резонаторов – термостатов (КРТ) в корпусе DIL-14. 

Комментарии

Комментарии отсутствуют

Вопросы по докладу

Вопросы отсутствуют