Омские научные чтения - 2018 - Физика

МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ

Худайбергенов Г. Ж.

Аннотация

Важным этапом процесса изготовления тонких пленок является контроль их параметров (скорости их нанесения, толщины и ее равномерности, поверхностного сопротивления), который проводится с помощью специальных приборов. Развитие методов измерения механических напряжений обусловлено необходимостью контролировать величину механических напряжений в плёнках различных материалов, являющихся основой микроконструкций. В данной работе представлены результаты по измерению механических напряжений в тонких пленках нитрида алюминия.

Комментарии

Комментарии отсутствуют

Вопросы по докладу

Вопросы отсутствуют