Омские научные чтения - 2018 - Физика

РАСЧЕТ ХИМИЧЕСКОГО СОСТАВА ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ В СМЕСИ AR+HЕ+SIH4

Худайбергенов Г. Ж., Ляхов А. А., Струнин В. И.

Аннотация

Для повышения конверсионной эффективности солнечного элемента предлагается создать внутри слоя a-Si:H структуры состоящей из моно-кристальных наночастиц кремния (Si-NPs) [1]. Для понимания механизма формирования Si-NPs предложена химическая модель разложения силана в плазме тлеющего разряда. В результате численного моделирования аргон-гелий-силановой плазмы высокочастотного (ВЧ) разряда получены равновесные концентрации радикалов. Исследовано влияние метастабильного состояния гелия на концентрации атомарного кремния.

Комментарии

Комментарии отсутствуют

Вопросы по докладу

Вопросы отсутствуют