Третья Всероссийская научная конференция "Омские научные чтения-2019" - Физика

ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ ЗОНДОВЫМ МЕТОДОМ ПРИ НАПЫЛЕНИИ ТОНКИХ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ СВЕРХПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК YBCO

Позыгун И. С., Серопян Г. М., Сычев С. А.

Аннотация

Метод лазерной абляции стал широко используемым методом для напыления тонкопленочных ВТСП материалов с заданной стехиометрией. Конкретные параметры плазмы сильно влияют на качество получаемых пленок. В работе использовался зондовый метод для исследования лазерной плазмы, используемой для напыления ВТСП пленок. В разных частях плазменного факела были получены распределения электронной и ионной концентраций, а также электронной температуры.

Комментарии

Комментарии отсутствуют

Вопросы по докладу

Вопросы отсутствуют